质量流量控制器
阀门型式: 比例电磁阀，非通电时常闭 ( N.C.)。 TFT-LCD 65K 全彩色显示。显示可依安装方向调整，容易读取。反应时间< 0.3 S。类比输入及输出、开关输出可切换。
- TFT-LCD 65K 全彩色显示。
- 显示可依安装方向调整，容易读取。
- 反应时间 < 0.3 S。
- 类比输入及输出、开关输出可切换。
- 通讯协定 RS485 Modbus RTU。
- 适用产业: 半导体、雷射焊接、通讯 loT。
| 阀门型式 | 比例电磁阀，非通电时常闭 ( N.C.) |
|---|---|
| 适用流体 | 非腐蚀性，不可燃性: 干燥空气( Air )，氮气 ( N2 )，二氧化碳 ( CO2 )，氩气 ( Ar ) |
| 流量范围 | Air, N2, Ar : 200 L/min CO2 : 100 L/min |
| 显示器 | TFT-LCD 1.3" 65K 全彩显示器 |
| 显示 - 流量控制 | 显示范围: 0 ~ 100 % F.S. 显示最小单位: LPM: 1 L/min, CFM: 1 ft3/min (※1) |
| 显示 - 压力显示 | 显示范围: -101 ~ 1000 kPa 显示最小单位: kPa: 1, MPa: 0.001, kgf/cm2: 0.01, bar: 0.01, psi: 0.1 |
| 显示 - 温度显示 | 显示范围: 0 ~ 50°C / 32 ~ 122 °F (不结冻) 显示最小单位: 0.1°C, 0.1°F |
| 显示 - 湿度显示 | 显示范围: 10~90% RH 显示最小单位: 0.1% RH |
| 精度 - 流量控制 (※2) | 控制精度: ±3% F.S. 重复精度: ±1% F.S. 温度特性: ±5% F.S. (※3) 压力特性: ±2% F.S. (※4) |
| 精度 - 压力感测 | 显示精度: ±2% F.S. 重复精度: ±0.1% F.S. |
| 精度 - 温度感测 | 显示精度: ±0.2 °C |
| 精度 - 湿度感测 | 显示精度: ±0.25% RH |
| 精度 - 类比输入及输出 | ±1% F.S. |
| 开关输出 | NPN 开集极输出: 最大负载电流 : 200 mA, 最大供应电压 : 24V DC, 内部压降 : ≤ 1.5V PNP 开集极输出: 最大负载电流 : 200 mA, 最大供应电压 : 24 V DC, 内部压降 : ≤ 1.5 V |
| 开关输出 - 输出模式 | 流量控制: 允差模式，错误输出模式 |
| 开关输出 - 反应时间 | 流量控制: 0.3 s (typ.)，可达到设定值± 2% F.S. |
| 类比输入及输出 (※5) | DC 1 ~ 5 V, 0 ~ 10 V, 4 ~ 20 mA |
| 通讯介面 | RS485 Modbus RTU |
| 电源 | 电压电源: DC 24 V 消费电流: ≤ 300 mA |
| 耐环境 | 使用压力范围: 300 ~ 500 kPa 标准压力差: 300 kPa (入口压力 : 300 kPa，出口压力 : 0 kPa ) 耐压力: 1000 kPa 防护等级: IP40 工作流体温度: 0 ~ 50 °C (无水露及不结冰状况下) 周围温度: 动作 : 0 ~ 50 °C ; 保存 : -10 ~ 60 °C (无水露及不结冰状况下) 周围湿度: 动作及保存时 : 35 ~ 85 % R.H. (无水露) |
| 配件 | 2M 电线 |
| 重量 | 685 g |
| 备注 | ※1. 当流量显示单位为CFM、ft3时，真实流量为显示数值 × 10-2。 ※2. 精度 : 使用压缩干燥空气，并以本公司的基准流量计为基准，仅供其余气体参考。 ※3. 基准 : 25 °C ( 0 ~ 50 °C 温度范围内 ) ※4. 基准 : 入口端压力为300 kPa，出口端为1 大气压释放，温度条件25 °C。 ※5. 可切换选用，请按说明书进行设定。 |
