質量流量控制器
閥門型式 : 比例電磁閥，非通電時常閉 ( N.C.)。TFT-LCD 65K 全彩色顯示。顯示可依安裝方向調整，容易讀取。反應時間< 0.3 S。類比輸入及輸出、開關輸出可切換。
- TFT-LCD 65K 全彩色顯示。
- 顯示可依安裝方向調整，容易讀取。
- 反應時間 < 0.3 S。
- 類比輸入及輸出、開關輸出可切換。
- 通訊協定 RS485 Modbus RTU。
- 適用產業: 半導體、雷射焊接、通訊 loT。
| 閥門型式 | 比例電磁閥，非通電時常閉 ( N.C.) |
|---|---|
| 適用流體 | 非腐蝕性，不可燃性: 乾燥空氣( Air )，氮氣 ( N2 )，二氧化碳 ( CO2 )，氬氣 ( Ar ) |
| 流量範圍 | Air, N2, Ar : 200 L/min CO2 : 100 L/min |
| 顯示器 |
TFT-LCD 1.3" 65K 全彩顯示器 |
| 顯示 - 流量控制 | 顯示範圍: 0 ~ 100 % F.S. 顯示最小單位: LPM: 1 L/min, CFM: 1 ft3/min (※1) |
| 顯示 - 壓力顯示 | 顯示範圍: -101 ~ 1000 kPa 顯示最小單位: kPa: 1, MPa: 0.001, kgf/cm2: 0.01, bar: 0.01, psi: 0.1 |
| 顯示 - 溫度顯示 | 顯示範圍: 0 ~ 50°C / 32 ~ 122 °F (不結凍) 顯示最小單位: 0.1°C, 0.1°F |
| 顯示 - 濕度顯示 | 顯示範圍: 10~90% RH 顯示最小單位: 0.1% RH |
| 精度 - 流量控制 (※2) | 控制精度: ±3% F.S. 重複精度: ±1% F.S. 溫度特性: ±5% F.S. (※3) 壓力特性: ±2% F.S. (※4) |
| 精度 - 壓力感測 | 顯示精度: ±2% F.S. 重複精度: ±0.1% F.S. |
| 精度 - 溫度感測 | 顯示精度: ±0.2 °C |
| 精度 - 濕度感測 | 顯示精度: ±0.25% RH |
| 精度 - 類比輸入及輸出 | ±1% F.S. |
| 開關輸出 | NPN 開集極輸出: 最大負載電流 : 200 mA, 最大供應電壓 : 24V DC, 內部壓降 : ≤ 1.5V PNP 開集極輸出: 最大負載電流 : 200 mA, 最大供應電壓 : 24 V DC, 內部壓降 : ≤ 1.5 V |
| 開關輸出 - 輸出模式 | 流量控制: 允差模式，錯誤輸出模式 |
| 開關輸出 - 反應時間 | 流量控制: 0.3 s (typ.)，可達到設定值± 2% F.S. |
| 類比輸入及輸出 (※5) | DC 1 ~ 5 V, 0 ~ 10 V, 4 ~ 20 mA |
| 通訊介面 | RS485 Modbus RTU |
| 電源 | 電壓電源: DC 24 V 消費電流: ≤ 300 mA |
| 耐環境 | 使用壓力範圍: 300 ~ 500 kPa 標準壓力差: 300 kPa ( 入口壓力 : 300 kPa，出口壓力 : 0 kPa ) 耐壓力: 1000 kPa 防護等級: IP40 工作流體溫度: 0 ~ 50 °C ( 無水露及不結冰狀況下) 周圍溫度: 動作 : 0 ~ 50 °C ; 保存 : -10 ~ 60 °C ( 無水露及不結冰狀況下) 周圍濕度: 動作及保存時 : 35 ~ 85 % R.H. ( 無水露) |
| 配件 | 2M 電線 |
| 重量 | 685 g |
| 備註 | ※1. 當流量顯示單位為CFM、ft3時，真實流量為顯示數值 × 10-2。 ※2. 精度 : 使用壓縮乾燥空氣，並以本公司的基準流量計為基準，僅供其餘氣體參考。 ※3. 基準 : 25 °C ( 0 ~ 50 °C 溫度範圍內 ) ※4. 基準 : 入口端壓力為300 kPa，出口端為1 大氣壓釋放，溫度條件25 °C。 ※5. 可切換選用，請按說明書進行設定。 |
