搭配流量传感器，可确认小型工件的吸附状态。超小型也能进行大流量的真空切换。可选配真空破坏流量调整方式。
- 搭配流量传感器，可确认小型工件的吸附状态
提供附流量传感器型产品(业界首创)，亦可选常规的附压力传感器和无传感器产品。适用于与半导体相关的设备(贴片机、处理器)和小型工件吸附搬运装置。
- 超小型也能进行大流量的真空切换
供给-80kPa时、8.5 ℓ/min[ANR]以上
- 可选配真空破坏流量调整方式
除了搭配真空破坏流量调节针阀外，还有低价格的真空破坏空气流量固定型(供给0.5MPa、9.5 ℓ/min[ANR]以上)。
| 使用流体 |
空气(JIS B 8392-1 符合 1.2.1 ~ 2.4.3 级标准)、真空 |
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| 使用压力范围 |
0.3~0.7 MPa |
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| 使用真空压力 |
-90~0 kPa |
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| 使用温度范围 |
5~50℃(不冻结)
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| 使用湿度范围 |
35~85% RH (不冻露) |
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| 耐振动 / 耐冲击 |
50m/s2以下／150m/s2以下 |
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| 保护构造 |
IP40相当 |
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| 给油 |
不需要 |
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| 耐压力 |
供气回路: 1.05 MPa
真空回路: 0.2 MPa |
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| 备注 |
* 此处的耐压力为产品能承受的不损坏的压力，非产品正常使用的压力。 |
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