搭配流量傳感器，可確認小型工件的吸附狀態。超小型也能進行大流量的真空切換。可選配真空破壞流量調整方式。
- 搭配流量傳感器，可確認小型工件的吸附狀態
提供附流量傳感器型產品(業界首創)，亦可選常規的附壓力傳感器和無傳感器產品。適用於與半導體相關的設備(貼片機、處理器)和小型工件吸附搬運裝置。
- 超小型也能進行大流量的真空切換
供給-80kPa時、8.5 ℓ/min[ANR]以上
- 可選配真空破壞流量調整方式
除了搭配真空破壞流量調節針閥外，還有低價格的真空破壞空氣流量固定型(供給0.5MPa、9.5 ℓ/min[ANR]以上)。
| 使用流體 |
空氣(JIS B 8392-1 符合 1.2.1 ~ 2.4.3 級標準)、真空 |
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| 使用壓力範圍 |
0.3~0.7 MPa |
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| 使用真空壓力 |
-90~0 kPa |
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| 使用溫度範圍 |
5~50℃(不凍結)
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| 使用濕度範圍 |
35~85% RH (不凍露) |
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| 耐振動 / 耐衝擊 |
50m/s2以下／150m/s2以下 |
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| 保護構造 |
IP40相當 |
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| 給油 |
不需要 |
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| 耐壓力 |
供氣迴路: 1.05 MPa
真空迴路: 0.2 MPa |
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| 備註 |
* 此處的耐壓力為產品能承受的不損壞的壓力，非產品正常使用的壓力。 |
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