MFS 流量传感器‒轻量型｜漏气检测．适用于半导体产业
反应时间 ≤ 5ms。体积小、重量轻。漏气检测。适用于半导体产业。
- 反应时间 ≤ 5ms
- 体积小、重量轻
- 微小物体吸附确认
- 漏气检测
- 适用于半导体产业
| 额定流量范围 | -10 ~ 10 L/min |
|---|---|
| 检测方向 | 单向, 双向 |
| 使用压力范围 | -100 ~ 200 kPa |
| 耐压力 | 300 kPa |
| 适用气体 | 干燥空气，氮气 ( N2 )，非腐蚀性，不可燃性 |
| 电源电压 | 15 ~ 24V DC ±10%，涟波峰值 ≤ 10 % |
| 消费电流 | ≤ 20mA |
| 精度 | 重複精度: ≤ ± 2% F.S. 直線性: 非線性 溫度特性(*1): ≤ ± 0.3% F.S./°C ~ ≤ ± 0.6% F.S./°C 壓力特性(*2): ± 5% F.S. ~ ± 10% F.S. |
| 反应时间 | 90 % F.S. 內，≤ 5 ms |
| 指示灯颜色 | 綠色LED |
| 类比输出 | 電壓輸出: 1~5V ±5% F.S. (±0.2V) (非線性), 輸出阻抗: 約1 KΩ |
| 耐环境 | 防護等級: IP40 工作流體溫度: 0 ~ 50°C (無水露及不結冰狀況下) 周圍溫度: 動作: 0 ~ 50°C ; 保存: -10 ~ 60°C (無水露及不結冰狀況下) 周圍濕度: 動作及保存時 : 35 ~ 85 % R.H. ( 無水露) 耐電壓: 1000 V AC 1 分鐘( 引線及塑膠外殼間) 絕緣阻抗: ≥ 50 MΩ ( 500 V DC，引線及塑膠外殼間) 耐振動: 複振幅1.5 mm 或 10 G，每1 分鐘10 Hz ~ 55 Hz ~ 10 Hz，X、Y、Z 每個方向各2小時 耐衝擊: 100m/s2 (10G)，X、Y、Z 方向各測3次 |
| 电线规格 | Ø2.6耐油(PVC) - 26 AWG ( 0.15 mm2 ) - 3芯 |
| 重量 | 本體: 約 4 g (無 Port) ; 約 9.6 g (M5 Port) 電線(3M): 31.8 g |
| 备注 | *1. 基准: 25°C (0 ~ 50 °C 温度范围内) *2. 基准: 150 kPa (-100 ~ 200 kPa 压力范围内) |
