MFS 流量傳感器‒輕量型｜漏氣檢測．適用於半導體產業
反應時間 ≤ 5ms。體積小、重量輕。漏氣檢測。適用於半導體產業。
- 反應時間 ≤ 5ms
- 體積小、重量輕
- 微小物體吸附確認
- 漏氣檢測
- 適用於半導體產業
| 額定流量範圍 | -10 ~ 10 L/min |
|---|---|
| 檢測方向 | 單向, 雙向 |
| 使用壓力範圍 | -100 ~ 200 kPa |
| 耐壓力 | 300 kPa |
| 適用氣體 | 乾燥空氣，氮氣 ( N2 )，非腐蝕性，不可燃性 |
| 電源電壓 | 15 ~ 24V DC ±10%，漣波峰值 ≤ 10 % |
| 消費電流 | ≤ 20mA |
| 精度 | 重複精度: ≤ ± 2% F.S. 直線性: 非線性 溫度特性(*1): ≤ ± 0.3% F.S./°C ~ ≤ ± 0.6% F.S./°C 壓力特性(*2): ± 5% F.S. ~ ± 10% F.S. |
| 反應時間 | 90 % F.S. 內，≤ 5 ms |
| 指示燈顏色 | 綠色LED |
| 類比輸出 | 電壓輸出: 1~5V ±5% F.S. (±0.2V) (非線性), 輸出阻抗: 約1 KΩ |
| 耐環境 | 防護等級: IP40 工作流體溫度: 0 ~ 50°C (無水露及不結冰狀況下) 周圍溫度: 動作: 0 ~ 50°C ; 保存: -10 ~ 60°C (無水露及不結冰狀況下) 周圍濕度: 動作及保存時 : 35 ~ 85 % R.H. ( 無水露) 耐電壓: 1000 V AC 1 分鐘( 引線及塑膠外殼間) 絕緣阻抗: ≥ 50 MΩ ( 500 V DC，引線及塑膠外殼間) 耐振動: 複振幅1.5 mm 或 10 G，每1 分鐘10 Hz ~ 55 Hz ~ 10 Hz，X、Y、Z 每個方向各2小時 耐衝擊: 100m/s2 (10G)，X、Y、Z 方向各測3次 |
| 電線規格 | Ø2.6耐油(PVC) - 26 AWG ( 0.15 mm2 ) - 3芯 |
| 重量 | 本體: 約 4 g (無 Port) ; 約 9.6 g (M5 Port) 電線(3M): 31.8 g |
| 備註 | *1. 基準 : 25°C (0 ~ 50 °C 溫度範圍內) *2. 基準 : 150 kPa (-100 ~ 200 kPa 壓力範圍內) |
